螺桿驅動是最常見的移動平台配置:馬達旋轉,經螺桿把旋轉變成載台的線性移動。本文回答一個問題:螺桿平台怎麼做到微米定位,數字怎麼讀?

答案分兩層。傳動層:螺桿有梯形螺桿(摩擦驅動、有背隙、便宜)與滾珠螺桿(滾珠循環、近無背隙、精度高)兩類,精度差距在微米級。驅動層:步進馬達(開迴路、由步級角換算)與直流伺服(編碼器閉迴路)是兩種主流驅動,各有速度與精度的取捨。

本文說明兩類螺桿、兩種驅動、以及數字怎麼讀(步級角換算、滾珠螺桿 C 級、UTS 對照)。關鍵提醒:馬達軸的角度規格、整台平台的定位規格、加工件的尺寸公差,是三種不同的量,不能互相代用。

滾珠螺桿平台俯視剖視:馬達經聯軸器帶動螺桿,螺帽固定於載台,兩條導軌限制載台旋轉

圖 1|通用滾珠螺桿配置(非特定產品剖面)。螺帽固定於載台、不跟隨螺桿旋轉;選配編碼器量測馬達軸,讀不到螺桿後端的導程誤差、背隙與彈性變形。點圖可看原尺寸。

1. 梯形螺桿 vs 滾珠螺桿

兩類螺桿的差別在螺桿與螺帽之間是滑動還是滾動:

梯形螺桿滾珠螺桿
接觸方式螺紋面滑動(摩擦驅動)滾珠循環滾動
背隙有(需預壓或消隙機構)近無(預壓滾珠)
自夾持有(斷電不自滑)無(垂直軸需煞車)
效率低(摩擦損耗大)高(滾動損耗小)
成本低高
典型精度毫米級微米級

梯形螺桿適合低精度、低速度、需要斷電自夾持的應用(例如夾具、升降)。滾珠螺桿適合微米級定位——近無背隙讓重複精度好,高效率讓同功率下速度更快。垂直軸用滾珠螺桿要加煞車或自夾持機構,因為它不自夾持。

2. 步進馬達:步級角、微步、開閉迴路

步進馬達靠脈衝一步一步轉,每步轉一個步級角。東方馬達的雙相 PKP/PK 基本步級角 1.8°(標準)/ 0.9°(高解析度),五相 PKP/PK 為 0.72° / 0.36°[1][2]。

**微步(細分)**把一個整步再分成多份,例如 16 細分把 0.72° 整步分成 16 個 0.045° 微步。微步提高平滑度、降低低頻振動,但不提高定位精度——精度仍受螺桿導程誤差與背隙限制。

步進常採開迴路:控制器以發出的脈衝數推算位置,不讀實際位置。過載或加速過快造成失步時,推算值不再代表實際位置。加裝編碼器可能只用來監視失步,也可能參與閉迴路修正,要看驅動器與接法[4]。

停止精度(型錄):五相 0.72° 型 ±0.05°;美國站對 0.36° 型另寫 ±0.034°(無負載);RKⅡ 組合 ±0.05° 註明無負載[3][5]。不能把全部高解析度型都寫成 ±0.05°——型號限制要逐個查。

3. 直流伺服:編碼器閉迴路

直流伺服馬達配編碼器形成閉迴路:編碼器讀實際位置,控制器修正誤差。Newport 的 UTS 系列提供同尺寸兩種驅動對照[9]:

UTS-CC 有刷直流UTS-PP 步進
行程50 / 100 / 150 mm同左
最大速度40 mm/s20 mm/s
最小增量0.3 μm0.3 μm(搭配 XPS;SMC100PP/ESP301 為 0.5 μm)
雙向重複精度(保證)±1.75 μm±3.0 μm
保證精度±2.25 / ±2.75 / ±3.25 μm±2.5 / ±3.5 / ±4.0 μm

UTS-CC 的旋轉編碼器直接裝在螺桿上(馬達經 11:4 皮帶減速帶動螺桿);UTS-PP 經聯軸器帶動螺桿、以指令步數定位[9]。UTS-CC 軸向負載超過 1 kg 時最高速度降為 20 mm/s。這組直流版較快、雙向重複較緊,但不能推成所有直流馬達都優於所有步進馬達——取捨要看具體型號的轉矩—速度曲線與編碼器解析度。

UTS 手冊列測試環境 20 ±1 °C,達規格還要求安裝平面平面度 5 μm[10]。

4. 數字怎麼讀:換算、C 級、UTS 對照

步級角換算:直結、無減速機、先忽略螺桿與聯軸器誤差時,角度換算為 Δx = 導程 L × Δθ / 360°(毫米導程乘 1000 得微米):

導程五相 0.72° 整步五相 0.36° 整步±0.05° 換成直線
1 mm2.0 μm1.0 μm±0.14 μm
2 mm4.0 μm2.0 μm±0.28 μm
5 mm10 μm5.0 μm±0.69 μm
10 mm20 μm10 μm±1.39 μm(RKⅡ 型錄寫 ±1.4)
20 mm40 μm20 μm±2.78 μm

RKⅡ 頁的導程 10 mm 例把 ±0.05° 換成 ±1.4 μm[3]——這只估算馬達角度誤差對直線位置的貢獻,不是整台螺桿平台的保證精度。若採 0.36° PKP 的 ±0.034°,同導程換算約 ±0.94 μm。

滾珠螺桿 C 級:要同時寫廠商、軸徑、導程、精度等級。上銀外循環型列軸徑 8–100 mm、導程 2.5–60 mm(不是每個軸徑都有每個導程),現貨轉造 C7 標 50 μm/300 mm[7][8]。THK 依 JIS B 1192(ISO 3408)的導程精度:C3 定位例(有效螺紋 ≤100 mm)代表運行距離誤差 8 μm、每 300 mm 變動 8 μm;C5 同長度 18 μm;C7 轉造例 ±50 μm/300 mm;C10 ±210 μm/300 mm[6]。縮短導程只縮小馬達角度誤差的換算值,不會消除螺桿本身的導程誤差。

5. 適用與限制

螺桿驅動平台適合微米級、長行程(mm 到 m)、中等速度、重負載的應用。它的精度上限由滾珠螺桿 C 級與背隙決定,典型在微米級;要次微米以下要換線性馬達或壓電(見本系列後續篇)。

常見誤解

  • 「步級角越小越準」:錯。步級角決定單步位移,定位精度由螺桿導程誤差、背隙與閉迴路決定。0.36° 整步在導程 10 mm 上是 10 μm,比 0.72° 的 20 μm 小,但都不等於平台精度。
  • 「閉迴路就準」:閉迴路修正馬達失步,但讀不到螺桿後端的導程誤差與背隙——編碼器裝在馬達軸上,讀的是馬達轉角,不是載台實際位置。
  • 「C3 一定比 C7 好」:C 級是導程精度等級,C3 比 C7 緊,但整台平台精度還受背隙、導軌、安裝平面度與溫度影響。

給讀者的自我檢查

  • 你能說出梯形螺桿與滾珠螺桿在背隙與自夾持上的差別嗎?
  • 導程 10 mm、五相 0.72° 整步,單步位移是多少微米?
  • 馬達軸的 ±0.05° 停止精度,能不能直接當成平台的定位精度?

回到開頭的問題:螺桿平台怎麼做到微米定位?答案是滾珠螺桿(近無背隙)加上閉迴路驅動(步進或直流伺服),精度由螺桿 C 級與背隙決定。適用條件:本文步進數字來自東方馬達、伺服例子來自 Newport,均為特定型號的型錄值。尚未解決的限制:馬達換得更細,平台不會自動換級——±0.05° 換算 ±1.39 μm 只是一項誤差分量;平台驗收讀整機規格,加工件驗收讀圖面與量測結果(見〈CNC 加工件的 10 μm 與 1 μm〉)。